英特尔首席财务官: 由于使用High NA EUV量产, 14A将比18A更昂贵
更新时间:2025-09-13 15:52:48 浏览次数: 258
9月9日消息,据外媒Tom's hardware报道,英特尔首席财务官David Zinsner在花旗 2025 年全球 TMT 大会上表示,下一代的Intel 14A(1.4nm级)制程技术将是英特尔为代工客户从头开始设计第一个尖端制造工艺,因为其将使用ASML最新的0.55NA(数值孔径)的High NA EUV光刻机Twinscan EXE:5200B。
“14A 将比 18A 更贵,”David Zinsner坦言:“虽然就晶圆厂投资而言,14A并没有明显更贵。但这肯定会带来更高的晶圆制造成本,部分原因是我们期望在 14A 中使用High NA EUV 工具,而 18A 中并非如此。”
英特尔预计,与 20A 相比,其 14A 制造工艺的每瓦性能将提高 15% – 20%,功耗可降低 25% – 18%。14A还将采用第二代 RibbonFET 晶体管架构(一种升级的栅极全方位晶体管结构)和全新的背面供电技术 PowerDirect(一种将电源线直接连接到晶体管源极和漏极的背面供电网络)。
Intel 14A 还有一项关键创新是 Turbo Cells,它通过在密集的标准单元库中使用高驱动、双高单元优化关键时序路径来增强 CPU 和 GPU 频率,从而在不影响面积或功耗的情况下提高性能。然而,为了实现 14A 生产,英特尔需要使用High NA EUV 光刻系统,这些系统可提供更好的分辨率,因此不需要依赖多图案化。
ASML称其High NA EUV 系统在单次曝光中实现了 8nm 分辨率,与当前 Low-NA EUV 工具的 13.5nm 分辨率相比有着很大的提升。尽管 Low-NA EUV 系统也可以使用双图案化(双重曝光)达到 8nm分辨率,但这种方法会增加工艺复杂度并影响良率。然而,High NA EUV将曝光场减少了50%,需要芯片制造商调整其设计策略。此外,High NA EUV比现有的EUV光刻机更昂贵。
ASML 当前一代 Low-NA EUV Twinscan NXE:3800E 每台成本约为 2.35 亿美元,而High NA EUV Twinscan EXE:5200B(或更高级)工具预计每台成本为 3.8 亿美元。由于该技术带来的高成本和独特挑战,各家晶圆厂对于何时采用High NA EUV的规划各不相同:英特尔正在推动几年后利用High NA EUV量产14A,而台积电则采取更谨慎的态度,其A16制程仍将采用Low-NA EUV。
旨在生产采尖端制程工艺芯片的晶圆厂目前的建设成本从 200 亿美元到 300 亿美元不等,具体取决于产能配置,因此以 15.2 亿美元的价格增加四个 High-NA EUV工具几乎不会显着增加晶圆厂成本。同时,14A 研发成本高达数十亿美元。因此,一旦所有额外成本都加上,它们确实会使 14A 工艺技术比 18A 更昂贵,这就是为什么英特尔代工需要外部客户来证明额外成本的合理性。
“我认为英特尔首席执行官陈立武( Lip-Bu Tan)所说的是,如果我们没有在外部获得 14A 客户,将很难证明该节点的合理性,”David Zinsner说。“所以,是的,英特尔产品将成为 14A 的大客户,事实确实如此,我们需要确保它达到我们可以为股东带来合理投资回报率的水平。”
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